氣浮運(yùn)輸板為平板顯示器（FPD）和光伏（PV）太陽能電池制造中的應(yīng)用，非接觸式控制玻璃或其他基板下或附近的精密工藝或自動光學(xué)檢測（AOI）的解決方案。